特殊陽極氧化過程主要用直流電和基于三價鉻酸或硫酸的電解液。它們產生的陽極氧化膜大多數不是半透明的，而是乳白色的或不透明的。鉻酸陽極氧化主要用在航空工業。SBAA過程產生的氧化膜于CAA產生的氧化膜具有同樣好的耐腐蝕性，并且SBAA過程產生的氧化膜在航空制造吸音罩中更容易和膠黏劑化合物粘接。Ematal膜層是硬的和耐腐蝕性的，通常用在紡織工業，脈沖電流陽極氧化能夠減少選擇膜層厚度的陽極氧化時間，它允許增加更高的電流密度而不發生燃燒的問題。這個技術產生同質的氧化膜層并且增加了耐磨損性。脈沖電壓的級別大概是DC水平的50％。火花陽極氧化（等離子陽極氧化）等離子化學條件下氧化膜層中固態反應氣體是高壓放電產生的，噴射發生在能量 集中的地方，氧離子產生等離子狀，底層金屬融化并且和活性氧反應。這些產生無定形氧化層包括結晶區域。電解液是碳酸鹽或氟化物，或者是氟化物、硼酸鹽和磷酸鹽的結合物的水溶液。經過挑選的電解液可以產生200um厚的膜層。這些膜層可以用其他金屬摻雜，打開了催化凈化的運用的大門。它們具有好的耐腐蝕和耐磨損的性能。

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